真空退火炉的工作原理：先将扩散泵上电预热，炉料从料车进入炉体，关好炉门，然后用机械泵、罗茨泵进行预抽空，达到一定真空度后开启扩散泵和高真空大阀，达到所需真空度后送电加热。在此处经升温、保温过程完成炉料的退火处理；经冷却后出炉，完成一个工作周期。工艺流程采用单向进出料，为半连续工作方式，料架、料车进入炉体，采用链传动方式或推料车进行人工推拉。
通常真空退火炉由炉体(炉壳、炉门、炉胆、加热器部分组成)一般在炉壳上装有控温偶、超温报警偶、监控偶三大类型。工件车(在炉门前安装导轨式工件车，工件车手动液压升降。)、冷却水系统、压缩空气系统、加热电源系统、电气控制系统等部分组成。由于有的大型退火炉采用风机和其它冷却功能，相应的退火炉还具有较高的炉温均匀性。
真空退火炉的选型指南：
1.真空热处理炉安装方式的选择：可分为卧式及立式炉两种，立式炉又分为上出料及下出料结构。选择依据主要是处理的产品类型、形状或摆放方式确定。
2.发热组件的选择：真空热处理炉加热元件向工件的传热方式和普通电加热炉不同，以辐射传热为主。镍铬主要应用在温度在1000℃以下的真空炉，高温钼应用在1600℃以下热处理炉，石墨及石墨带(板)可以应用在2300℃以下真空热处理炉。发热组件的选择主要依据热处理温度、产品的物理及化学特性而确定。
3.隔热屏的选择：隔热屏是真空烧结炉加热室的主要组成部分，其主要作用是隔热、保温及减少热损失，同时也是固定加热器的结构基础。因此，隔热屏结构形式及材料的选择，对真空炉的功率及性能(如真空度、放气率等)有很大的影响。隔热屏基本上分为金属隔热屏和非金属隔热屏两类。其结构形式分为全金属隔热屏、夹层式隔热屏、石墨毡隔热屏和混合毡隔热屏。隔热屏的选择主要依据温度、产品的物理及化学特性和真空度要求而确定。
