1. 真空石墨烧结炉设备用途
本系列真空炉为周期作业式,采用石墨管或石墨棒(为发热元件,适用于金属材料,无机非金属材料,在真空或保护气氛下进行烧结适用,也可用于光学材料的烧结提纯适用。
2. 真空石墨烧结炉方案图
3. 主要技术参数
3.1 电源:单相 380V 50Hz
3.2 加热功率:45Kw
3.3 最高温度:2000℃ 使用温度1900℃
3.4 工作区尺寸:Φ160*160(D*H,mm)
3.5 控温区数:一区
3.6 控温方式:钨铼热电偶+红外测温仪
3.7 控温精度:±1℃
3.8 冷态极限真空度:6.67*10-3Pa(空炉、冷态、烘烤除气后)
3.10 充气气氛:惰性气体
3.11 充气压力:≤0.05MPa
4. 设备构成
序号 |
名称 |
数量 |
序号 |
名称 |
数量 |
1 |
炉盖 |
1 |
2 |
炉体 |
1 |
3 |
炉底 |
1 |
4 |
炉架 |
1 |
5 |
加热及隔热系统 |
1 |
6 |
炉盖升降及锁紧装置 |
1 |
7 |
真空系统 |
1 |
8 |
混气系统 |
1 |
9 |
控制系统 |
1 |
10 |
水冷却系统 |
1 |
11 |
变压器及联接电缆 |
1 |
12 |
1 |
5. 结构及功能说明:
设备采用立式井式结构,设备整体设计,操作高度相似与桌面高度,操作方便,设备主要有炉盖、炉体,炉架、真空系统、加热系统、水冷系统、炉盖升降系统,控制系统等组成。
6.1 炉盖
炉盖采用双层不锈钢(SUS304)水夹层平板结构,与法兰组焊成一个整体。其中内壁精密抛光,外壁拉丝处理。炉门上设有冷却水进出口、炉盖升降连接座等炉盖电动升降,炉盖及保温屏整体安装在升降模组上,升降平稳,方便进出料。
6.2 炉体
炉体采用双层不锈钢(SUS304)水夹层架构,与上、下法兰组焊成筒形结构,上法兰平面上开设有燕尾型密封槽,采用O型硅橡胶密封圈密封。炉内壁精密抛光,外壁拉丝处理。炉体侧面设有冷却水进出口、真空抽气口、热电偶安装口等。
6.3 炉底
炉底采用双层不锈钢(SUS304)水夹层平板结构,与法兰组焊成一个整体。其中内壁精密抛光,外壁拉丝处理。法兰平面开设有燕尾型密封槽,采用O型硅橡胶密封圈密封。炉底设有水冷电极安装孔、自动充放气接口等,炉底与炉体用螺栓联接锁紧。
6.4 炉架
炉架采用型材焊接作为骨架,并配合数控钣金,组合成一个整体,作为整个设备的基础。同时,一体式设计整齐美观,操作方便。
6.5 加热及隔热系统
加热采用高纯石墨作发热体,纯度高,无挥发,有效保证炉腔内的清洁度。隔热材料采用石墨成型纤维软毡,保温效果好,耐冲击性好。整个隔热屏采用金属框架固定,便于安装与维护。
温度控制采用热电偶+红外仪切换控温的方式,低温时热电偶直接控温测温,高温时热电偶退出,用红外仪直接控温测温。同时,在隔热屏外设置一支监控热电偶,监控隔热屏外温度,提高设备的安全使用性能
6.6 炉盖升降及锁紧装置
采用一台蜗轮蜗杆升降机带动炉盖及保温盖做上升下降运动,行程300mm左右。升降导向采用一根线性滑轨,与升降机、铝型材共同组合成一个整体。炉盖与升降机构的连接采用活动式连接,保证真空密封。
炉盖锁紧采用手轮压紧的方式,可保证设备在微正压下工作。
6.7 真空系统
真空系统采用二级泵配置,由一台K-150油扩散泵,一台VRD-24机械泵、气动高真空挡板阀、充气阀、放气阀、真空压力表、真空测量规管等组成,真空管道与泵的联接采用金属波纹管减缓震动,真空度的测量由睿宝数显复合真空计执行。
6.8 混气系统
本设备配置一路充放气系统,由流量计、电磁阀、手阀、压力传感器、接头等组成。由压力传感器及电磁阀形成闭环控制系统,可对炉内气氛压力进行控制。当炉压超过设定值时,排气阀自动打开,进行泄压。手阀可以根据实际情况,适当调整气体流量。排出的气体客户可结合实际情况进行处理。
6.9 水冷系统
水冷系统由进出水总管道、阀门及各支路组成。冷却水由进水总管进入后,经过各支管送到炉门、炉体、炉底、水冷电极、真空泵、冷阱等这些需要冷却水的地方,然后汇总到出水总管排出。总进水管路设有电接点压力表,具有断水声光报警并切断电源功能。各支路水管采用透明塑胶软管,通过不锈钢接头联接进出水总管道及设备各进出水口。每路冷却水进水管都装有手动阀门,可手动调节水流量大小。客户可直接选用水冷机做为冷却系统的水源,循环冷水机用户可自行选配或者委托我公司代买。
6.10 控制系统:
控制加热系统有可控硅调压器+低压高流大功率变压器+测温装置,组成闭环控制系统,温度仪表采用程序仪表带PID自动调节功能,带自整定自我调整能力。稳定可靠,控制精度高。设备整体配有操作模拟屏,控制系统的操作都集中在上面,直观明了,操作简单可靠。同时如有需要控制系统可升级采用PLC+触摸屏的方式,温度真空数据可记录可查询,曲线可现实,数据可保存可导出,温度程序数据可编译可保存可调用。控制系统集中安放在炉架的一侧箱体内,整结大方,维修方便,所有器件均采用施耐德,西门子等,保证使用安全。控制箱柜上都有安全警示贴,安装接线标准化制作。
6.11 变压器及连接电缆
选用与使用功率相匹配的干式隔离变压器及电缆。